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鍍膜設(shè)備

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AS500DMTXB離子鍍膜機(jī)設(shè)備照片4G-CAE電弧工作狀態(tài)GIMS工作狀態(tài)

eArctic AS500DMTXB

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  • GIMS工作狀態(tài)
  • 詳細(xì)介紹
AS500是全自動(dòng)、試驗(yàn)(?。┬?、多功能PVD硬質(zhì)鍍膜涂層設(shè)備,具體技術(shù)規(guī)格如下:

真空室尺寸 Ø760mm * H700mm
均勻可鍍區(qū) Ø500mm * H300mm
極限真空度 3.0*10-4Pa
壓升率 0.33Pa/hr(常態(tài))
冷卻水 5ton/hr
占據(jù)空間 4.0*3.0*3.5m3
真空室 日韓304不銹鋼,雙層內(nèi)襯,五年質(zhì)保
抽氣系統(tǒng) Edwards/Leybold磁懸浮分子泵+Leybold粗抽泵
真空檢測 Inficond薄膜規(guī)+SKY90復(fù)合真空計(jì)
流量控制 七星華創(chuàng)7S-CS200數(shù)字流量計(jì)/Brooks/MKS/AE
轉(zhuǎn)架 可移出式下轉(zhuǎn)架(4軸)
陰極電弧 最多2組(4套)4G-CAE(靶材規(guī)格100*20)
磁控濺射 最多2組(4套)柱狀或者平面
氣體離子源 陽極層流型氣體離子源1套
偏壓電源 AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW
智能源擋板 1套,實(shí)現(xiàn)鍍膜前的靶材預(yù)清洗
加熱系統(tǒng) 最高500度,3根熱電偶監(jiān)測
冷卻水循環(huán)系統(tǒng) 配日本SMC水流開關(guān),智能控制
電氣元件 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器

可選裝如下配置:
 
1、HIPIMS高能脈沖磁控濺射系統(tǒng)
2、獨(dú)立公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)
3、超高真空爐體 5.0* 10-5Pa
4、Gencoa:Speedflo system
5、標(biāo)準(zhǔn)夾具
6、專用工件烤箱、冰水機(jī)、噴砂機(jī)等附屬設(shè)備

丹普真空鍍膜機(jī)設(shè)備嚴(yán)格執(zhí)行歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范設(shè)計(jì)和制造。
索取離子鍍膜機(jī)報(bào)價(jià)及行業(yè)解決方案:huzhongjun@naura.com

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