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丹普公司GIMS技術(shù)通過(guò)中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)成果
發(fā)布時(shí)間：2014-09-18
2014年9月2日，中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)在廣州主持召開了科技成果鑒定會(huì)，對(duì)廣州有色金屬研究院、北京丹普表面技術(shù)有限公司聯(lián)合完成的“離子源復(fù)合真空鍍膜成套裝備、工藝及應(yīng)用”項(xiàng)目成果進(jìn)行鑒定。與會(huì)專家聽取了項(xiàng)目匯報(bào)，審閱了鑒定資料，經(jīng)過(guò)質(zhì)詢和討論，形成如下鑒定意見：
1.提供的鑒定資料齊全，數(shù)據(jù)詳實(shí)，符合科技成果鑒定要求；
2.通過(guò)研究陽(yáng)極層氣體離子源、非平衡磁控濺射和陰極電弧等技術(shù)，設(shè)計(jì)并開發(fā)出全自動(dòng)控制多功能離子鍍膜系列裝備。該裝備具有適用面寬、沉積面積大、工藝穩(wěn)定、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)；
3.研究陽(yáng)極層氣體離子源結(jié)合非平衡磁控濺射復(fù)合鍍膜技術(shù)，制備出可精確控制層間界面、摻雜成分及微觀結(jié)構(gòu)的多層多相多尺度類金剛石復(fù)合膜。該薄膜具有優(yōu)異的綜合性能：硬度大于20GPa（最高可達(dá)35.5GPa），厚度可調(diào)（最高可達(dá)6um），膜基結(jié)合力大于50N（最高可達(dá)100N），摩擦系數(shù)小于0.2（最低可達(dá)0.05）。
4.研制的成套裝備及工藝技術(shù)已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，經(jīng)國(guó)內(nèi)外用戶使用，反應(yīng)良好，產(chǎn)生了顯著的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。
綜上所述，該成果的裝備及工藝技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
鑒定委員會(huì)一致同意該項(xiàng)目通過(guò)科技成果鑒定。
建議：加快推廣應(yīng)用。
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