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丹普公司GIMS技術(shù)通過中國有色金屬工業(yè)協(xié)會成果
發(fā)布時間：2014-09-18
2014年9月2日，中國有色金屬工業(yè)協(xié)會在廣州主持召開了科技成果鑒定會，對廣州有色金屬研究院、北京丹普表面技術(shù)有限公司聯(lián)合完成的“離子源復(fù)合真空鍍膜成套裝備、工藝及應(yīng)用”項目成果進行鑒定。與會專家聽取了項目匯報，審閱了鑒定資料，經(jīng)過質(zhì)詢和討論，形成如下鑒定意見：
1.提供的鑒定資料齊全，數(shù)據(jù)詳實，符合科技成果鑒定要求；
2.通過研究陽極層氣體離子源、非平衡磁控濺射和陰極電弧等技術(shù)，設(shè)計并開發(fā)出全自動控制多功能離子鍍膜系列裝備。該裝備具有適用面寬、沉積面積大、工藝穩(wěn)定、重復(fù)性好等優(yōu)點；
3.研究陽極層氣體離子源結(jié)合非平衡磁控濺射復(fù)合鍍膜技術(shù)，制備出可精確控制層間界面、摻雜成分及微觀結(jié)構(gòu)的多層多相多尺度類金剛石復(fù)合膜。該薄膜具有優(yōu)異的綜合性能：硬度大于20GPa（最高可達35.5GPa），厚度可調(diào)（最高可達6um），膜基結(jié)合力大于50N（最高可達100N），摩擦系數(shù)小于0.2（最低可達0.05）。
4.研制的成套裝備及工藝技術(shù)已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，經(jīng)國內(nèi)外用戶使用，反應(yīng)良好，產(chǎn)生了顯著的經(jīng)濟和社會效益。
綜上所述，該成果的裝備及工藝技術(shù)達到國際先進水平。
鑒定委員會一致同意該項目通過科技成果鑒定。
建議：加快推廣應(yīng)用。
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