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薄膜材料

腐蝕液

配方

使用條件

備注

AL

硝酸

濃度80%以上的硝酸適量

90~~100℃

用沸水保溫

NaOH溶液

NaOH+甘油+無水乙醇+去離子水
5g    0.5ml    8ml   6ml

30~~50℃

剛配置時(shí)成乳白色，存放一周后變黃，30~~50℃變透明可用

Au

鹽酸

鹽酸：水=1：（3~4）

常溫-60℃

碘-碘化鉀

碘-碘化鉀+水
1g  4ml   4ml

常溫

能快速去膜

王水

常溫或稍加熱：鹽酸=3：1

常溫

酸性太強(qiáng)

Cr

NaOH+高錳酸鉀+水
4g       3g     50ml

生成黃色MnO時(shí)，常在草稀酸中浸一下，水沖盡，再放腐蝕液

硫酸鈰+硝酸+去離子水
2~4g  2~4ml   20ml

常溫或稍加熱

硫酸鈰（Ce（SO4）3）

Ni-Cr

硫酸鈰+硝酸+去離子水
2~4g  2~4ml   20ml

常溫或稍加熱

Si

發(fā)煙硝酸：氫氟酸：醋酸=3：1：1

0℃

擱在冰水中或散熱好的容器中

MgF2

鹽酸

鹽酸：水=1：（3~4）

常溫-60℃

用于耐酸玻璃

草酸+酒石酸鉀鈉

草酸+酒石酸鉀鈉+水
1.5%  1.5%       97%
0.5%  0.5%       99%
0.75%  0.75%     98.5%
0.75%  0.5%      98.75%

在98℃烘箱中
2小時(shí)
1小時(shí)
0．5小時(shí)
1小時(shí)

不腐蝕玻璃和膜層，使膜剝離
用于K系玻璃
用于F系玻璃
用于BaKK系玻璃
用于ZK系玻璃

ZnS

鹽酸

鹽酸：水=1：4

常溫

SiO2

氟化氫銨
NH4FHHF

氫氟酸+氟化銨+去離子水
30ml    60g     100ml
或氫氟酸+去離子水
30g    250ml

常溫

盛于聚乙烯容器中，為防止玻璃腐蝕，另一方面涂保護(hù)膠，用0.1um的AI2O3粉末擦拭，并隨時(shí)沖水檢查。

AI2O3

NaOH溶液

NaOH+水
10g   10ml

30~~50℃

ZrO2

濃H2SO4

純濃H2SO4

50~~60℃

ZrO2HF酸