- 詳細介紹
ES500是我公司推出的一款釹鐵硼材料表面鍍鋁設備，傳統(tǒng)的鋁鐵硼材料鍍鋁來防腐蝕，一般都是通過水電鍍的方式處理，水電鍍的主要問題是質(zhì)量不可靠、生產(chǎn)過程中對環(huán)境的污染嚴重，我們利用真空鍍膜原理，利用磁控濺射和熱蒸發(fā)的鍍膜方式，輔助以高壓離子轟擊，在釹鐵硼材料上實現(xiàn)快速鍍制致密鋁膜，ES500設備的主要技術規(guī)格如下：
| 真空室尺寸 | L1000mm * H1000mm * W700mm |
| 均勻可鍍區(qū) | Ø600mm * 700mm |
| 極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr（常態(tài)） |
| 冷卻水 | 5ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 4.0*3.0*3.5m3 |
| 真空室 | 日韓304不銹鋼，雙層內(nèi)襯，五年質(zhì)保 |
| 抽氣系統(tǒng) | Leybold擴散泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
| 真空檢測 | SKY90復合真空計 |
| 流量控制 | 七星華創(chuàng)7S-CS200數(shù)字流量計/Brooks/MKS/AE |
| 轉(zhuǎn)架 | 大網(wǎng)籠帶一次自轉(zhuǎn)和小網(wǎng)籠帶二次自轉(zhuǎn)，保證工件之間無磕碰接觸 |
| 磁控濺射 | 柱狀濺射靶1套 |
| 蒸發(fā)舟 | 氮化硼蒸發(fā)舟5套 |
| 送絲機構(gòu) | 送絲速度可調(diào)，保證不同的蒸發(fā)沉積速率 |
| 轟擊電源 | 最高可達3000V |
| 加熱系統(tǒng) | 最高300度，2根熱電偶監(jiān)測 |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
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